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工业烤箱设备为什么比普通烤箱更适合半导体行业?

日期:2021-12-16【返回】

工业烤箱设备是降低柜内氧气含量,进行加热烘烤的干燥设备。 主要是对金属等比较容易氧化的设备进行烘烤,使其干燥固化时的抗氧化保护。 我们知道半导体制造可以细分为前道和后道两个工艺步骤。前一工序是加工硅材料制造晶片,通过步进曝光等多个工序将IC设计图案加载到晶片上,制作集成电路; 后工序是将搭载集成电路的晶片分割为基本单元,经过封装、测试完成的集成电路产品。工业烤箱设备在无氧分化真空环境下,氧分压下降,避免了材料干燥过程中的氧化变质现象,保障了被干燥产品的质量,且具有功能齐全、烘烤效果好、使用方便、易于操作等特点,比普通烘箱更适合应用于半导体行业。

工业烤箱设备为什么比普通烤箱更适合半导体行业?

东莞铂艺工业烤箱设备具备以下特点:

1、上下炉腔可单独控温、通气、报警保护,强制送风内循环,确保温度均匀。

2、控制系统用PLC+人机界面配合微电脑控制温控器,带PID自动演算功能以保证箱体温度均匀性为±1℃。

3、工业烤箱设备外材质为SPCC钢板经过苏打水清洗后粉体烤漆处理,保温材质为高密度纤维棉,保温效果好。

4、工业烤箱设备内材质用SUS304不锈钢板,整个内腔用氩弧焊满焊,防止空气进入烘箱内,同时节省惰性气体。

5、可以保存配方,查看温度曲线,导出升温数据等。

6、配置自动充氮气装置,与自动开关风门进行充氮烘烤。

7、根据使用要求,可以接受定制工业烤箱设备。


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